Czujniki bezwładnościowe służą do pomiaru aspektów ruchu fizycznego, takich jak siła ciągu, prędkość, kąt i kierunek, i są szeroko stosowane w zastosowaniach konsumenckich, takich jak smartfony, konsole do gier, samochodowe systemy poduszek powietrznych i wyświetlacze GPS. Jednak większy rynek czujników bezwładnościowych obejmuje poszukiwania ropy naftowej i gazu, sprzęt do badań geologicznych, urządzenia medyczne i lotnictwo. Niezależnie od zastosowania, oparte na MEMS czujniki bezwładnościowe wymagają złożonych i precyzyjnych technik trawienia w celu stworzenia precyzyjnych geometrii, które są spójne w całej płytce.